title: Theoretical and experimental analysis of the effect of magnetron sputtering conditions on the interface composition of beryllium-based multilayer structures
metadata.name: dc.contributor.advisor
metadata.value: Тарачева Елена Юрьевна
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.contributor.advisor
metadata.value: Taraceva Elena Urevna
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.contributor.author
metadata.value: Каратаев Андрей Владимирович
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.contributor.author
metadata.value: Karataev Andrej Vladimirovic
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.contributor.editor
metadata.value: Филатова Елена Олеговна
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.contributor.editor
metadata.value: Filatova Elena Olegovna
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.date.accessioned
metadata.value: 2023-04-06T21:48:06Z
metadata.lang: -
metadata.name: dc.date.available
metadata.value: 2023-04-06T21:48:06Z
metadata.lang: -
metadata.name: dc.date.issued
metadata.value: 2022
metadata.name: dc.identifier.other
metadata.value: 054930
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.identifier.uri
metadata.value: http://hdl.handle.net/11701/39665
metadata.lang: -
metadata.name: dc.description.abstract
metadata.value: В работе представлена теоретическая оценка влияния различных факторов на величину перемешивания слоев, и как следствие, на протяженность переходных областей, в многослойных зеркалах (МРЗ) на основе бериллия, осажденных методом магнетронного распыления. Были изучены МРЗ Si-подл.[Mo/Be]110 без/с барьерными слоями B4C/Si, синтезированные методом магнетронного напыления.. Моделирование процесса синтеза многослойных зеркал проведено с использованием программных пакетов SRIM и TRIM. Использование пакета TRIM позволило рассмотреть сложные мишени из композиционных материалов. Проведено экспериментальное исследование указанных МРЗ методом фотоэлектронной спектроскопии. Показано хорошая корреляция теоретических и экспериментальных данных. 
  Установлено, что:
  •	зона перемешивания Мо-на-Ве(Si) формируется за счет сильного проникновения атомов Мо в подложку Ве(Si), обусловленного как баллистическими столкновениями, так и минимизацией поверхностной энергии, тогда как перемешивание при осаждении Be(Si)-на-Mo обусловлено только баллистическими столкновениями, а перемешанный слой имеет небольшую протяженность, ввиду малой глубины проникновения в молибден;
  •	нанесение прослойки кремния на слой молибдена препятствует проникновению атомов бериллия в слой молибдена и, следственно, формированию дебериллида молибдена на переходной области Be-on-Mo.
  •	 Нанесение барьерного слоя карбида бора на слой молибдена препятствует проникновению атомов бериллия в слой молибдена. 
  •	Нанесение барьерного слоя на слой бериллия не является эффективно действующим, поскольку практически не препятствует перемешиванию слоев.
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.description.abstract
metadata.value: This paper presents a theoretical assessment of the influence of various factors on the amount of layer mixing and, as a consequence, on the length of transition regions in beryllium-based multilayer mirrors (MLMs) deposited by magnetron sputtering. MLMs of Si-sub[Mo/Be]110 without/with B4C/Si barrier layers, synthesized by magnetron sputtering, were studied. The simulation of the synthesis of multilayer mirrors was carried out using the SRIM and TRIM software packages. The use of the TRIM package made it possible to consider complex targets made of composite materials. An experimental study of these MLMs was carried out by photoelectron spectroscopy. A good correlation between theoretical and experimental data is shown. 
  Determined that:
  • the Mo-on-Be(Si) mixing zone is formed due to the strong penetration of Mo atoms into the Be(Si) substrate due to both ballistic collisions and surface energy minimization while the mixing during Be(Si)-on-Mo deposition is due to only by ballistic collisions, and the mixed layer has a small extent, due to the small depth of penetration into molybdenum;
  • deposition of a silicon layer on the molybdenum layer prevents the penetration of beryllium atoms into the molybdenum layer and the formation of molybdenum deberyllide on the Be-on-Mo transition region.
  • Applying a barrier layer of boron carbide to the molybdenum layer prevents the penetration of beryllium atoms into the molybdenum layer.
  • Deposition of a barrier layer on a beryllium layer is not effective, since it practically does not prevent mixing of the layers.
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.language.iso
metadata.value: ru
metadata.name: dc.subject
metadata.value: Рентгеновская оптика
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: Рентгеновские многослойные зеркала
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: моделирование
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: синтез зеркал
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: магнетронное напыление
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: бериллий
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: молибден
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: SRIM
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: TRIM
metadata.lang: ru_RU
metadata.name: dc.subject
metadata.value: X-ray optics
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: X-ray multilayer mirrors
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: modeling
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: mirror synthesis
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: magnetron sputtering
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: beryllium
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: molybdenum
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: SRIM
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.subject
metadata.value: TRIM
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.title
metadata.value: Theoretical and experimental analysis of the effect of magnetron sputtering conditions on the interface composition of beryllium-based multilayer structures
metadata.lang: en_GB
metadata.name: dc.title.alternative
metadata.value: Теоретический и экспериментальный анализ влияния условий метода магнетронного напыления на состав межфазных границ многослойных структур на основе бериллия
metadata.lang: ru_RU
resources.filename: Karataev_VKR.docx
resources.url: https://dspace.spbu.ru/bitstream/11701/39665/2/Karataev_VKR.docx
resources.format: Microsoft Word XML
resources.description: Article
resources.size: 2,91 MB
resources.filename: reviewSV_Karataev_otzyv_rukovoditela.pdf
resources.url: https://dspace.spbu.ru/bitstream/11701/39665/3/reviewSV_Karataev_otzyv_rukovoditela.pdf
resources.format: Adobe PDF
resources.description: ReviewSV
resources.size: 120,65 kB